The US says ASML’s top chip tool may be in China. ASML says it isn’t

개요

미국 상무부 장관이 ASML의 첨단 EUV(극자외선) 리소그래피 장비가 중국에 있을 수 있다는 우려를 ASML 경영진에게 전달했으나, ASML은 이러한 주장을 부인하며 해당 장비가 중국에 존재하지 않는다고 밝혔다.

주요 내용

• 미국 상무부 장관은 ASML의 EUV 장비가 중국에 유출되었을 가능성에 대해 ASML 경영진에게 우려를 표명했다. 이는 미국 정부의 수출 통제를 심각하게 위반하는 행위다.
• 미국 행정부 관계자들은 ASML이 EUV 관련 부품 및 운송 장비를 중국으로 선적했다는 증거를 제시했으나, 그 증거를 공개하거나 ASML에 직접 보여주지는 않았다.
• ASML은 중국 내에 EUV 장비가 존재하지 않으며, 과거에도 존재한 적이 없다고 주장한다. ASML CEO는 모든 EUV 장비는 추적 가능하며, 중국 기반 직원은 EUV 기술 접근이 차단된 상태라고 설명했다.
• ASML은 EUV 장비 개발에 수십 년이 소요되었으며, 중국이 해당 장비를 입수했더라도 핵심 기술을 역설계하기는 어렵다고 강조한다.
• ASML은 중국에 구형 DUV(심자외선) 리소그래피 장비를 판매하고 있으나, 이는 경쟁자 육성을 막으면서도 고객사와의 사업 관계를 유지하기 위한 전략으로, EUV 장비 판매와는 다르다. ASML은 2026년 예상 매출의 약 20%를 중국으로부터 기대하고 있다.
• 미국 정부는 ASML의 EUV 독점에 도전할 차세대 광원 기술을 개발하는 스타트업 xLight에 대한 투자를 진행하고 있으며, 이는 ASML에 대한 압박과 연관성이 있을 수 있다는 추측도 제기된다.
• 의회에서는 ASML의 중국향 DUV 장비 판매 전면 금지를 골자로 하는 법안이 추진되고 있다.

시사점

이 사건은 미국과 중국 간의 반도체 기술 경쟁 심화 및 수출 통제 강화 추세를 보여주며, EUV 리소그래피 기술의 독점적 지위를 가진 ASML이 지정학적 리스크에 직면하고 있음을 시사한다.